喷涂靶材
喷涂靶材是利用电弧将靶材原料加热到熔融或半熔融状态 借助高速气体将其雾化,形成小的熔滴,并加速喷射到衬管或衬板表面 快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程,非金属和陶瓷靶通常是利用等离子加热粉末材料的方法喷涂制成
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